|  | 63 Научно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава, сотрудников, аспирантов и студентов ВГТУ (г. Воронеж, 13 апреля 2023 г.) | 
                                    
                |  | секции "Физика твердого тела", "Материалы и технология полупроводниковых приборов", "Проектирование и надежность полупроводниковых приборов и ИС. Микроэлектромеханические системы" : тезисы докладов | 
                                    
                |  | Текстовое (символьное) электронное издание | 
                    
                |  | 1 DVD-R | 
                    
                |  | г. Воронеж | 
                        
                    | Издатель | ФГБОУ ВО "Воронежский государственный технический университет" | 
                    
                |  | 2023 | 
                    
                |  | ПК 500 и выше ; 256 Мб ОЗУ ; Windows XP ; SVGA с разрешением 1024x768 ; СD-ROM дисковод, мышь ; Adobe Acrobat | 
                    
                |  | 0322302878 | 
                    
                |  | 08.11.2023 |