| 
                Чернышова О. В. (Оксана Витальевна) | 
            
                    
                 | 
                Получение покрытий. Методы физического и химического осаждения из газовой фазы | 
            
                                    
                 | 
                учебное пособие | 
            
                                    
                 | 
                Текстовое (символьное) электронное издание | 
            
                    
                 | 
                1 CD-R | 
            
                    
                 | 
                г. Москва | 
            
                        
                    | Издатель | 
                    ФГБОУ ВО "МИРЭА - Российский технологический университет" | 
                
                    
                 | 
                2023 | 
            
                    
                 | 
                ОЗУ 128 Мб ; не менее 30 Мб ; ОС Windows ; программа для чтения pdf-файлов (Adobe Reader) | 
            
                    
                 | 
                0322302041 | 
            
                    
                 | 
                08.09.2023 |