|
Липатов Г. И. (Геннадий Иванович) |
|
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения |
|
учебное пособие |
|
Текстовое (символьное) электронное издание |
|
1 CD-R |
|
г. Воронеж |
Издатель |
ФГБОУ ВО "Воронежский государственный технический университет" |
|
2019 |
|
ПК 500 и выше ; 256 Мб ОЗУ ; Windows XP ; SVGA с разрешением 1024x768 ; СD-ROM дисковод, мышь ; Adobe Acrobat |
|
0321903827 |
|
10.12.2019 |