Исследование систем многоуровневой металлизации ИС на установке Quanta 3D DualBeam

Главная страница ⇒ Направление деятельности ⇒ Депозитарий электронных изданий ⇒ Каталог

Описание электронного издания

Основные сведения

Автор(ы)	Абдуллаев Д. А. (Даниил Анатольевич), Милованов Р. А. (Роман Александрович), Хорин И. А. (Иван Анатольевич) и др.
Основное заглавие	Исследование систем многоуровневой металлизации ИС на установке Quanta 3D DualBeam
Сведения, относящиеся к заглавию	методические указания
Вид ресурса	Текстовое (символьное) электронное издание
Тип носителя	1 CD-R
Место издания	г. Москва
Издатель	ФГБОУ ВО "МИРЭА - Российский технологический университет"
Год издания	2018
Системные требования	не менее 128 Мб ; не менее 30 Мб ; Windows ; программа для чтения pdf-файлов (Adobe Reader)
№ госрегистрации	0321801839
Дата регистации	18.06.2018

Производитель электронного издания

Наименование	ФГБОУ ВО "МИРЭА - Российский технологический университет"
Адрес	119454; Москва, г. Москва, пр-т Вернадского, д. 78
Сайт	http://mirea.ru

© Федеральная служба по надзору в сфере связи, информационных технологий и массовых коммуникаций " Роскомнадзор"
© Федеральное государственное бюджетное учреждение Научно-технический центр «Информрегистр», 2007-2014
107553, Москва, ул. Большая Черкизовская, дом 21, стр. 1. Схема проезда, тел.: (499) 160-93-48

Разделы каталога

Основные разделы

Информационные ресурсы

Личный кабинет