| 
                Прудников Н. В., Фетисов Л. Ю. | 
            
                    
                 | 
                Элементная база, технологии и материалы для микросистемной техники | 
            
                                    
                 | 
                учебное пособие | 
            
                                    
                 | 
                Текстовое (символьное) электронное издание | 
            
                    
                 | 
                1 CD-R | 
            
                    
                 | 
                г. Москва | 
            
                        
                    | Издатель | 
                    ФГБОУ ВО "МИРЭА - Российский технологический университет" | 
                
                    
                 | 
                2018 | 
            
                    
                 | 
                не менее 128 Мб ; не менее 30 Мб ; Windows ; программа для чтения pdf-файлов (Adobe Reader) | 
            
                    
                 | 
                0321801832 | 
            
                    
                 | 
                15.06.2018 |