|
Зайцев А. А., Милованов Р. А., Кельм Е. А. и др. |
|
Плазмохимические методы формирования структур в технологии микро- и наноэлектроники |
|
учебное пособие |
|
Текстовое (символьное) электронное издание |
|
1 CD-R |
|
г. Москва |
Издатель |
ФГБОУ ВО "МИРЭА - Российский технологический университет" |
|
2014 |
|
IBM PC ; ОЗУ 128 Мб ; 20 Мб ; Windows 2000 и выше ; клавиатура, мышь ; Аdobe Reader |
|
0321403732 |
|
17.02.2015 |