Депозитарий электронных изданий

| Общие сведения | Документы | Регистрация | Платные услуги | Каталог |

Описание электронного издания

Исследование систем многоуровневой металлизации ИС на установке Quanta 3D DualBeam

Основные сведения
Абдуллаев Д. А. (Даниил Анатольевич), Милованов Р. А. (Роман Александрович), Хорин И. А. (Иван Анатольевич) и др.
Исследование систем многоуровневой металлизации ИС на установке Quanta 3D DualBeam
методические указания
Текстовое (символьное) электронное издание
1 CD-R
г. Москва
Издатель ФГБОУ ВО "МИРЭА - Российский технологический университет"
2018
не менее 128 Мб ; не менее 30 Мб ; Windows ; программа для чтения pdf-файлов (Adobe Reader)
0321801839

Производитель электронного издания
ФГБОУ ВО "МИРЭА - Российский технологический университет"
119454; Москва, г. Москва, пр-т Вернадского, д. 78
http://mirea.ru