Депозитарий электронных изданий

| Общие сведения | Документы | Регистрация | Платные услуги | Каталог |

Описание электронного издания

Плазмохимические методы формирования структур в технологии микро- и наноэлектроники

Основные сведения
Зайцев А. А., Милованов Р. А., Кельм Е. А. и др.
Плазмохимические методы формирования структур в технологии микро- и наноэлектроники
учебное пособие
Текстовое (символьное) электронное издание
1 CD-R
г. Москва
Издатель ФГБОУ ВО "МИРЭА - Российский технологический университет"
2014
IBM PC ; ОЗУ 128 Мб ; 20 Мб ; Windows 2000 и выше ; клавиатура, мышь ; Аdobe Reader
0321403732
17.02.2015

Производитель электронного издания
ФГБОУ ВО "МИРЭА - Российский технологический университет"
119454; Москва, г. Москва, пр-т Вернадского, д. 78
http://mirea.ru